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多机冷水机组更灵活    冷水机组如果要求较大的制冷量，不宜选用单机，宜采用多机制，电机宜用变频调速，以降低起动功率。多机可以灵活使用，不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象。

空调机房宜在洁净室侧面    空调机房的位置，其位置宜在洁净室的侧面，这不但可以节能，也有利于风道的布置，并使气流组织更加合理，同时，可以节省工程费用。

空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出，近年来，世界Ic卡技术展开疾速，IC芯片日益微型化，目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染控制只需求肯定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的减少而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。

洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：

　　1.图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;

　　2.各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;

　　3.各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;

　　4.各分部单机试运转记录;

　　5.各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;

　　6.各类管线试验、检查记录;

　　7.各分部工程的安全设施的检验和调试记录;

　　8.各分部工程的质量验收记录。