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空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界Ic卡技术展开疾速,IC芯片日益微型化,目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的减少而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。












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